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          VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

          VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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          • VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

          VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

          TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

          產(chǎn)品描述


          3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
          VA5204_VA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
           
          • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
          • ● 采用閉環(huán)伺服控制
          • ● 末端執(zhí)行器類型:下托式
          • ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器

          •  

          臂長

          520mm

            額定/最大負(fù)載

           2kg

          搬運(yùn)物

          ≤Φ300mm晶圓

          新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

          關(guān)鍵詞:

          新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

          規(guī)格參數(shù)

          新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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